Temperaturverhalten piezoresistiver Druckmessumformer

Temperaturverhalten piezoresistiver Druckmessumformer

Piezoresistive Druckmessumformer zeichnen sich durch ihre hohe Empfindlichkeit aus, was Messungen von kleinsten Drücken emöglicht. Allerdings weisen die eingesetzten Materialien auch eine recht hohe Temperaturabhängigkeit auf, welche kompensiert werden muss.

Das Verhalten eines piezoresistiven Druckaufnehmers verändert sich mit der Temperatur. Während temperaturbedingte Nullpunktverschiebungen offensichtlich sind und vom Anwender leicht erkannt und überprüft werden können, sind temperaturbedingte Änderungen der Empfindlichkeit und der Linearität weniger auffällig und werden deshalb oft übersehen.

Ursachen für Nullpunktverschiebung

Die Ursache für die Nullpunktverschiebung ist eine Summe verschiedenster Effekte:

  • verschiedene Widerstandswerte der Messbrücke auf dem Silizium Chip
  • verschiedene Temperaturkoeffizienten der einzelnen Widerstände in der Messbrücke
  • die Siliziummembrane ist nicht homogen, sondern mit einer Siliziumoxydschicht überzogen (unterschiedliche Ausdehnungskoeffizienten)
  • mechanische Spannungen bei der Montage der Messzelle auf ihrem Träger (Chip, Glas, Glasdurchführung)
  • die Ausdehnung des Öls in Verbindung mit der Steifigkeit der Stahlmembrane (daher wird mit einem Füllkörper das Ölvolumen auf wenige µL minimiert)

Je nach Aufbau des Druckaufnehmers und Druckbereich fallen die einzelnen Effekte mehr oder weniger stark ins Gewicht. Wichtig ist in der Praxis nicht, woraus sich die thermische Nullpunktverschiebung zusammensetzt, sondern wie gut kompensierbar sie ist. Erwünscht ist ein möglichst lineares Verhalten über einen möglichst grossen Temperaturbereich.

Beste Ergebnisse mit Polynom-Kompensation

Auch die Linearitat verändert sich mit der Temperatur. Falls solche Temperatureffekte berücksichtigt und kompensiert werden sollen, ist dies meist nur im Rahmen einer kompletten mathematischen Modellierung des Aufnehmerverhaltens sinnvoll und möglich. Dieses mathematische Modell beschreibt das gesamte Druck- und Temperaturverhalten eines Aufnehmers genauestens. Es bedarf aber eines Rechners oder digitaler Kompensationsmethoden, um dieses mathematische Modell anwenden zu können.

Bei STS wird dies bei den OCS-Produkten mittels Polynom-Kompensation erzielt. Der piezoresistive Drucktransmitter des Datenlogger DL.OCS/N/RS485 zur Wasserüberwachung erreicht durch Polynom-Kompensation beispielsweise eine Genauigkeit von 0,03 % FS sowie einen Gesamtfehler von nur 0.05 %FS in einem Temperaturbereich von -5…+50 °C.

Die meisten Druckmessumformer von STS sind standardmässig für Betriebstemperaturen von -0°C bis 70°C optimiert – ein guter Wert, um bei den meisten Anwendungen präzise Resultate zu erzielen. In manchen Fällen ist es für jedoch von Vorteil, wenn die Sensoren auf die in der jeweiligen Anwendung auftretenden Temperaturverhältnisse hin optimiert geliefert werden. STS ist darauf spezialisiert, anwendungsspezifische Drucksensoren innerhalb kürzester Zeit bereitzustellen.

Druckverhalten piezoresistiver Druckaufnehmer

Druckverhalten piezoresistiver Druckaufnehmer

Piezoresistive Druckaufnehmer zeichnen sich durch ihre hohe Empfindlichkeit aus. Auch hinsichtlich Genauigkeit und Miniaturisierung ergeben sich viele Vorteile gegenüber anderen Messinstrumenten. In unserem Wissensbeitrag erklären wir das Druckverhalten piezoresistiver Druckaufnehmer.

Anwender piezoresistiver Druckaufnehmer erwarten ein lineares Druckverhalten, bei dem das Ausgangssignal proportional zum anstehenden Druck ist. Darum soll die Kurve im Druck-Signal-Diagramm eine Gerade sein, deren Anfangspunkt mit Nullpunkt und deren Steigung mit Empfindlichkeit bezeichnet wird. Der wirkliche Verlauf der Druck-Signal-Kurve zeigt immer mehr oder weniger starke Abweichungen von der idealen Geraden. Diese Abweichung ist der Linearitätsfehler des Druckaufnehmers. Die Steigung der Kurve entspricht dagegen der Empfindlichkeit.

In der Abbildung ist zu sehen, dass ein praktisch linearer Teil der Kennlinie ausgenutzt wird, wenn der Aufnehmer mit geringerer Empfindlichkeit (ca. 70% des Chip-Nenndrucks) eingesetzt wird. Durch Selektion können Transmitter mit sehr geringer Nichtlinearität (Stichwort 0.05 %FS) gebaut werden. Voraussetzung ist aber, dass der Einsatzbereich im linearen Teil des Chips liegt.

Empfindlichkeit piezoresistiver Druckaufnehmer

Die Empfindlichkeit eines Druckaufnehmers hängt im wesentlichen von zwei Faktoren ab:

  • dem Widerstandswert der eindiffundierten Halbleiterwiderstände und ihrem piezoresistiven Wirkungsfaktor,
  • der Dicke der Siliziummembrane.

Die Dicke der Siliziummembrane hat den grössten Einfluss auf das Druckverhalten. Sie wird durch mechanische, chemische oder kombinierte Bearbeitung festgelegt. Diese Prozesse lassen sich nicht so genau kontrollieren, dass alle Druckmesszellen die genau gleiche Empfindlichkeit aufweisen. Deshalb werden Klassen gebildet, innerhalb derer die Druckaufnehmer für einen bestimmten Druckbereich eingesetzt werden können. Innerhalb dieser Klassen können die Empfindlichkeiten um etwa ±20% streuen. Diese Abweichung kann durch den Speisestrom oder den Verstärkungsfaktor in der Elektronik kompensiert werden (Kalibrierung).

Linearität piezoresistiver Druckaufnehmer

Bei Linearitätsangaben in Prozent muss beachtet werden, dass dabei meist %FS (Full Scale, Endwert) angegeben werden. Bezogen auf einen Messwert kann der Fehler also durchaus stark ins Gewicht fallen, auch wenn in der Herstellerangabe ein sehr kleiner Wert, aber eben als %FS, angegeben wird.

Bei der Druckmesszelle hängt die Linearität von mehreren Faktoren ab:

  • die Halbleiterwiderstände müssen genügend klein und an der genau richtigen Stelle der Siliziummembrane eindiffundiert sein,
  • die Siliziummembrane muss sauber, scharfkantig und genau am richtigen Ort sein,
  • die Linearität ist unterschiedlich, ob Über- oder Unterdruck gemessen wird, d.h. ob sich die Membrane in konkaver oder konvexer Form baucht (Zug- oder Druckbelastung),
  • das Verhältnis Durchmesser zu Dicke der Siliziummembrane muss innerhalb eines bestimmten Bereiches sein. Sehr dünne Membranen deformieren sich mit einer überlagerten Streckung: Dieser Balloneffekt führt bei Aufnehmern für tiefe Druckbereiche zu einem typischen s-förmigen Verlauf der Linearitätskurve (welche mit analogen Kompensationsmethoden nicht behoben werden kann),
  • bei sehr dicken Siliziummembranen ist die beabsichtigte Struktur der am Rand starr eingespannten Membrane nicht mehr realisierbar, da z.B. bei einem 1000 bar Aufnehmer die Membrane halb so dick ist wie der Chip.

Überlast und Berstdruck piezoresistiver Druckaufnehmer

Der typische Verlauf der Linearitätskurve ist in einem grossen Teil recht linear und dann eher stark abflachend. Im Interesse eines möglichst grossen Ausgangssignals wird der grösstmögliche Bereich dieser Kurve ausgenutzt. Bis etwa zwei Drittel ist der Verlauf so linear, dass der Fehler kleiner als 0.5 %FS ist. Darüber wird der Linearitätsfehler schnell grösser, so dass eine Grenze von der Genauigkeit her gesetzt ist. Ausser bei sehr tiefen und sehr hohen Druckbereichen kann der Nenndruckbereich um etwa 50 % überschritten werden, bis die Messzelle bricht.

Um die Überlastsicherheit zu erhöhen, muss auf ein hohes Nutzsignal verzichtet werden: Man muss einen Druckaufnehmer verwenden, der an sich für einen höheren Druckbereich bestimmt wäre. Während beispielsweise bei kapazitiven Druckaufnehmern ein mechanischer Anschlag für die sich unter Druck durchbiegende Membrane vorgesehen werden kann und eine sehr hohe Überlastfestigkeit gewährleistet wird, ist dies bei den vergleichsweise winzig kleinen Siliziummembranen der piezoresistiven Druckmesszellen mit ihren kleinsten Auslenkungen kaum möglich.

Bei STS ist der Berstdruck der Druck, bei dem ein Medium in den Sensor gelangen kann, also die metallische Membrane zerstört wird. Der Aufnehmer ist allerdings bereits vorher nicht mehr funktionsfähig. Das geschieht bereits wenn der Chip bricht. Bei Tauchsonden sind Gehäuse, Kabelverschraubung und Kabel massgebend, nicht der Berstdruck des Aufnehmers (etwaige Angaben im Datenblatt sind also vernachlässigbar).

Medienverträglichkeit piezoresistiver Druckmessumformer

Medienverträglichkeit piezoresistiver Druckmessumformer

Bei der Wahl des richtigen Drucktransmitters für individuelle Anwendungen gibt es neben dem zu messenden Druckbereich oder den Temperaturbedingungen eine Vielzahl Kriterien, die beachtet werden müssen. Dazu gehört auch das Thema Medienkompatibilität: Das Gehäuse und der Prozessanschluß muss den Umgebungsbedingungen standhalten, damit der Sensor langfristig seinen Dienst ausführen kann.

Die Materialwahl folgt dabei zwei wichtigen Überlegungen: Einerseits geht es um die chemische Verträglichkeit mit den Kontaktmedien. Anderseits spielen auch präventive Überlegungen eine wichtige Rolle. Denn es muss nicht nur geklärt werden, ob der Druckmessumformer über lange Zeit funktional bleibt. Es gilt auch zu klären, ob es aufgrund der verwendeten Materialen im Druckmessumformer selbst zu Gefahren kommen kann, wenn diese in Kontakt mit bestimmten Stoffen kommen – die Pharmaindustrie wäre hier ein auf der Hand liegendes Beispiel. Im Folgenden zeigen wir auf, welche Medienunverträglichkeiten mit welchen Materialien bestehen und welche Lösungen es dafür gibt.

Chemisch-physikalische Medienkompatibilität mit Dichtungsmaterial & Kabel

Nicht nur das Gehäusematerial selbst muss in die Betrachtungen zur Medienkompatibilität einbezogen werden. Auch weitere Elemente des Druckmessumformers kommen in Kontakt mit den Umgebungs- bzw. den Prozessmedien. Diese Materialien sind gesondert zu betrachten.

Die meisten Druckmessumformer sind mit einer Dichtung aus Elastomer versehen. Hier besteht das Problem, dass sich das Elastomer auflösen kann, wenn es in Kontakt mit aggressiven Medien wie beispielsweise Biodiesel kommt. In diesem Fall sollte ein frontbündig verschweisster, elastomerfreier Sensor verwendet werden.

Ein weiterer Gesichtspunkt sind die Kabel, die zur Übertragung der Messdaten dienen. Nehmen wir den Einsatz einer Tauchsonde in einem Schwimmbad als Beispiel. Aus hygienischen Gründen verwenden Schwimmbäder gechlortes Wasser. Standardmässig werden bei Tauchsonden PE oder PUR-Kabel verwendet. Zwar macht diesen Kabeln Chlorwasser als solches nichts aus, die vom Wasser aufsteigenden Chlordämpfe allerdings schon, da diese vielfach aggressiver sind, als das Wasser selbst. Die Kabel werden also mit der Zeit oberhalb des Wasserspiegels porös (erkennbar an weisslicher Verfärbung) und Wasser dringt ein. In der Folge geht auch der Sensor kaputt. Darum werden hier Teflonkabel verwendet.

Chemisch-physikalische Medienkompatibilität mit Gehäuse

Dickflüssige Medien

Bei dickflüssigen Medien, beispielsweise Lacken, kann es zu Ablagerungen im Dichtungskanal kommen. Um Verunreinigungen vorzubeugen, braucht es für diese Anwendungen glatte, totraumfreie Membrane ohne offenen Druckkanal, damit sich der Sensor rückstandslos reinigen lässt.

Abrasive Medien

Wenn Druckumformer mit abrassiven Medien wie Beton in Berührung kommen, bietet eine einfache Edelstahlmembran keinen ausreichenden Schutz. Daher braucht es eine mit Vulkollanfolie überzogene Membrane.

Galvanische & säurehaltige Flüssigkeiten

Ein verchromter piezoresistiver Drucktransmitter mag vielleicht aus ästhetischer Sicht besser anzusehen sein, praktisch ist er aber nicht. Kommt ein Druckmesser mit Metallgehäuse in einem Galvanikbecken zum Einsatz, wird man mit der Zeit nur noch einen nicht mehr funktionstüchtigen Klumpen Chrom haben. Auch säurehaltige Flüssigkeiten wie Schwefelsäure reagieren mit Metall. Darum werden für galvanische und säurehaltige Flüssigkeiten Kunststoff-Gehäuse verwendet. Die gängigste Lösung ist hier PVDF.

Abbildung 1: Aufgrund falscher Materialwahl zerstörter Drucktransmitter

Meerwasser

Salzwasser (je nach Salzgehalt) verursacht langfristig Lochkorrosion bei Edelstahlgehäusen. Dafür sind die meisten Tauch- und Pegelsonden auch in einer Titanausführung verfügbar.

Offene Gewässer / Blitzschutz

Blitzeinschlag kann man vielleicht nicht unbedingt als Medium bezeichnen, dennoch wollen wir kurz darauf eingehen. Sollte ein Blitz direkt in einem Sensor einschlagen, hilft auch kein Blitzschutz mehr. Ein Überspannungsschutz kann aber ratsam bei Tauchsonden sein, die in offenen Gewässern verwendet werden. So kann einer Überspannung und Beschädigung des Messinstruments durch einen Blitzeinschlag in der näheren Umgebung vorgebeugt werden. Das ist besonders ratsam, wenn Langzeitmessungen in abgelegenen Stellen durchgeführt werden. Der Austausch eines defekten Gerätes ist dann weitaus kostspieliger als ein Überspannungsschutz.

Präventive Medienkompatibilität

Der Siliziumchip eines piezoresisitven Druckumformers ist von einer Übertragungsflüssigkeit umgeben. Dabei handelt es sich in der Regel um Silikonöl. Zwar kommt die Flüssigkeit normalerweise nicht in Kontakt mit den Umgebungsmedien, dennoch muss hier einiges beachtet werden – schliesslich ist ein Defekt des Sensorgehäuses nie vollends auszuschliessen. Je nach Anwendung kann das schwerwiegende Folgen haben.

Stark oxidierende Gase & Flüssigkeiten

Wenn stark oxidierende Gase oder Flüssigkeiten in Kontakt mit Ölen oder Fetten kommen, besteht Explosionsgefahr. Hier müssen alle medienberührenden Teile öl- und fettfrei sein, präventiv auch die Übertragungsflüssigkeit im Sensor.

Lebensmittel- und Pharmaindustrie

Hier muss das Silikonöl durch ein lebensmittelverträgliches Öl ersetzt werden, um gesundheitsschädliche oder anderweitig wirkende Kontaminationen auszuschliessen. So würde Bier, das in Kontakt mit Silikonöl gekommen ist, nicht mehr schäumen und das will schliesslich niemand.

Lacke

Nur ein Tropfen Öl kann eine ganze Charge unbrauchbar machen. Auch hier muss eine Alternative gefunden werden.

Das Infoplakat zum downloaden:

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